N12系列壓電掃描臺為1~3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心方形通孔，內(nèi)部采用無摩擦的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化結(jié)構(gòu)，具有超高的導(dǎo)向精度、高剛性、大負(fù)載、無磨損等特點(diǎn)，平臺內(nèi)可選擇配置高性能傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋，實(shí)現(xiàn)滿行程0.04%的重復(fù)定位精度。 N12.XY二維XY軸壓電掃描臺中心具有通孔，zui大掃描范圍可達(dá)110μm，閉環(huán)掃描臺精度更高，直線運(yùn)動(dòng)無偏航。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于表面測量、顯微成像等應(yīng)用領(lǐng)域。  特性 • 二維XY向運(yùn)動(dòng)，zui大行程110μm/軸 • zui大承載0.7kg • 臺體中心方形通孔，尺寸為45×45mm • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 開/閉環(huán)可選 應(yīng)用： 晶圓切割•生物顯微•白光干涉• 原子力顯微鏡•差動(dòng)聚焦檢測系統(tǒng)•顯微光學(xué)成像 
哈爾濱芯明天科技有限公司致力于壓電納米定位產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，主要服務(wù)于制造精密設(shè)備的的客戶。經(jīng)過二十多年的快速發(fā)展，公司已獲得*認(rèn)定，獲得產(chǎn)品30多項(xiàng)并取得軟件著作權(quán)、全部產(chǎn)品擁有自主知識產(chǎn)權(quán)、公司產(chǎn)品已覆蓋全國各地高校、科研院所以及精密設(shè)備制造企業(yè)，并遠(yuǎn)銷歐、美、日、韓等地。公司與中國高科技企業(yè)、國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室建立了合作伙伴關(guān)系，已經(jīng)成為中國專業(yè)的精密定位產(chǎn)品生產(chǎn)商。 
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