P66A.X30小體積X向運動壓電平臺
特性
• 一維X向運動
• 行程達38μm
• 承載力達100g
• 可選閉環版本、真空版本
典型應用
• 納米級精密位置調整
• 掃描顯微
• 微操作
• 納米定位/測量
• 微加工
高動態 高精度
P66A.X30為小體積高精度運動平臺，特別為高分辨率、高動態、高定位精度應用而設計，內置高可靠性壓電陶瓷，實現納米級精度調整，特殊的結構設計使其具有非常大的剛度，空載諧振頻率達2000Hz，滿足工業上對高頻率、高精度等應用的需求。
技術參數
型號：P66A.X30
運動自由度：X
標稱行程范圍（0~120V）：30μm
行程范圍（0~150V）：38μm
閉環傳感器類型：SGS
閉/開環分辨率：10/5nm
閉環線性度：0.1%F.S.
閉環重復定位精度：0.1%F.S.
推/拉力：200/10 N
運動方向剛度：10N/μm
空載諧振頻率：2000Hz
閉/開環空載階躍時間：5/1.5ms
承載能力：100g
靜電容量：3.6μF
臺體材料：鋁
電纜長度：1.5m
推薦控制器
P66A.X30壓電納米定位臺為一維X向運動機構，可配套芯明天單通道壓電控制器，實現精密運動控制。
E01.D1
LCD，薄膜按鍵, 可達625mA
RS-232/RS-422/USB通信
軟件可二次開發
E53.D
小體積，60mA
RS-232/RS-422/USB通信
軟件可二次開發
