M60 系列直線壓電馬達，行程可達100mm!
M60 系列直線壓電馬達，內部采用 PZT 壓電式驅動，直線運動行程可選 25、50、100mm，可達亞納米級分辨率。可選配閉環伺服傳感器（增量式編碼器），具有更高的定位精度?？蛇x移動臺面。
特點
• 大出力
• 閉環誤碰后自動歸位
• 上電自動找零位
• 可選光柵數字閉環
• 采用耐磨材料，真空無磁兼容
應用領域
• 工業級精度定位
• 半導體技術/測試
• 晶圓檢測
• 平版印刷
• 納米壓印
• 納米計量學
• 在強磁場和真空中運動
大出力
M60系列直線壓電馬達的主動推拉力可達50N，被動保持力達60N。并且，M60水平放置時，可承載10kg負載下進行高精度運動。
增量式編碼器提高精度
M60可選配增量式編碼器作為閉環傳感器，可提高直線運動的精度。
斷電自鎖、自動找零、自動歸位
M60后在斷電后具有自鎖功能，且再次上電時，會自動找零位。在使用中，若有誤碰情況，M60會自動調節歸位。
耐磨材料
M60直線壓電馬達采用高耐磨材料，壽命達千米以上。
配套控制器
E71系列壓電控制器是專為驅動M60直線壓電馬達而設計，它是由上位機數字控制，運動速度可調，采用逼進式到達目標位置的設定方式。
M60技術參數
型號：M60直線壓電馬達
運動自由度：X
集成傳感器類型：增量式編碼器
標稱行程范圍：25mm、50mm、100mm
速度上線：10mm/s
閉環分辨率：＜10nm
開環分辨率：＜0.1nm
推/拉力（主動）：50N
保持力（被動）：60N
工作溫度：0~50℃
質量（包含電纜）：565g
材質：鋁，不銹鋼
電纜長度：1.5m
