XD302系列超小體積壓電偏轉鏡！
特點
二維偏轉運動
體積緊湊
開環，高分辨率
適于高動態應用
應用
XD302系列小體積壓電偏轉鏡適于激光加工快速掃描、激光光路穩定等各種光路調節等。
兩種型號
XD302系列二維壓電偏轉鏡，具有XD302-D1與XD302-D2兩種型號，兩種型號的位移分別為3mrad、1.5mrad，兩個版本的空載諧振頻率都高達15kHz。并且，它們的體積非常緊湊，外徑僅15.6mm，高分別為30mm、21mm。
XD302-D1壓電偏轉鏡
XD302-D1技術參數
型號：XD302-D1
運動方向：θx、θy
標稱行程范圍（0~120V）：3或±1.5mrad
開環分辨率：0.03μrad
空載諧振頻率：15 kHz
帶載諧振頻率（φ12.5×3mm鏡片）：10 kHz
靜電容量：1.6μF/軸
材料：鈦合金、鋼
質量：30g
驅動控制：三路驅動（含1路恒壓）
外徑/高：15.6/30mm
XD302-D2壓電偏轉鏡
XD302-D2技術參數
型號：XD302-D2
標稱行程范圍（0~120V）：1.5或±0.75mrad
開環分辨率：0.02μrad
空載諧振頻率：15 kHz
帶載諧振頻率（φ12.5×3mm鏡片)：10 kHz
靜電容量：0.7μF/軸
材料：鈦合金、鋼
質量：20g
驅動控制：三路驅動（含1路恒壓）
外徑/高：15.6/21mm
偏轉角度與驅動電壓曲線
