納米光刻中的壓電掃描臺
納米光刻是一種全新的納米圖形復制方法，實質是將傳統(tǒng)的模具復型原理應用到微觀制造領域。首先計算機將BMP圖轉化成灰度圖，然后再通過二維掃描臺，帶動鍍膜鏡片對讀取的圖像信息進行優(yōu)化，同時控制激光器及掃描臺，完成圖像的納米定位加工。納米光刻技術是制作納米結構的關鍵，具有廣闊的應用前景。
利用芯明天P12系列XY二維掃描臺，可帶動鍍膜鏡片對讀取的圖像信息進行優(yōu)化，同時控制激光器及掃描臺，二者配合完成圖像的納米精度加工。
P12.XY100二維壓電掃描臺
P12.XY100為二維直線掃描臺，內置高可靠性壓電陶瓷，運動直線性好，臺體中心圓形通孔孔徑可選25mm 或35mm，滿足精密加工、掃描顯微等應用。
開/閉環(huán)曲線
注：施加至壓電陶瓷的電壓約為輸入控制電壓的12倍。
閉環(huán)線性度
技術參數
型號：P12.XY100
運動自由度：X、Y
行程范圍@120V：80μm/軸
行程范圍@150V：100μm/軸
閉環(huán)傳感器：SGS
通孔尺寸：Ø25/Ø35mm
閉/開環(huán)分辨率：7/4nm
閉環(huán)線性度：0.1%F.S.
閉環(huán)重復定位精度：0.05%F.S.
推/拉力：25/8N
剛度：0.2N/μm
空載諧振頻率：X180/Y230Hz
閉/開環(huán)空載階躍時間：15/0.8ms
承載：0.7kg
靜電容量：1.8μF/軸
材質：鋼、鋁
重量：200g
