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壓電陶瓷的典型應用案例

更新時間: 2019-01-14

芯明天壓電陶瓷是以PZT鋯鈦酸鉛為材料的PZT壓電陶瓷,具有正壓電效應及逆壓電效應。芯明天壓電陶瓷的應用可覆蓋半導體技術、光電子、通信、集成光學、生物科技、生命技術、精密加工、測量、激光技術、光學檢測、摩擦學、新藥設計、醫療技術、數據存儲技術、天文、自適應光學、納米技術、納米制造與納米自動化、顯微與成像、航天、圖像處理、低溫與真空環境等。

光束跟蹤

自動激光束定位跟蹤運動物體,在生物學應用中,將激光束用于細胞刺激。需要實時控制激光束的位置以跟蹤細胞的運動,而由于熱效應或外部振動,很難實現將激光束保持在細胞上的重要要求。

使用兩套壓電陶瓷驅動的兩軸壓電偏轉鏡及位置探測器,壓電陶瓷偏轉鏡可根據位置探測器的信號實時調節光束的位置,調節速度可達幾毫秒,頻率可達百赫茲。

 

微操作

在集成顯微鏡與微操作探針的顯微系統中,對樣品的微操作精度要求非常高。

利用壓電陶瓷促動器及壓電陶瓷平臺進行微操作調節,可獲得XYZ三維百微米操作范圍,以及10微米探針直線運動調節,通過軟件即可完成控制。

 

利用白光干涉法進行結構的三維表面檢測。例如,對發動機結構的三維檢測,發動機氣缸表面的珩磨是延長內燃機壽命、減少污染和節約資源的常用方法。珩磨過程非常復雜,需對這些結構進行詳細的檢測分析。

利用芯明天壓電陶瓷物鏡驅動器,使得物鏡進行非常的移動,步進精度在2.5nm,聚焦范圍可達550μm,用于產生高分辨率圖像。在芯明天壓電陶瓷控制器的控制下,可進行步進掃描或連續掃描。

 

光束調整

同步加速器的用戶對輸出光束有不同的要求。其中一個非常重要的方面是調整光束方塊的大小。 一般通過交換不同尺寸的針孔孔徑來改變孔徑尺寸,但該方法實現不方便且費時。

利用兩個芯明天XY運動的壓電陶瓷定位臺,正交定向放置,可在幾百微米至1毫米范圍內調整光束的面積,精度可達幾納米,可在幾毫秒內非常地提供不同尺寸的光束方塊,起到光束快門的作用,在準直器中調節輸出光束的尺寸。

 

計量學

表面形貌對于質量檢驗是至關重要的。

先進的技術,如三維測量顯微鏡。通過集成芯明天Z向壓電陶瓷納米定位臺,可將分辨率提高到幾納米,具有非常和可重復的運動。

 

計量顯微鏡

使用白光干涉儀對表面進行非接觸式3D檢測。

表面檢測對于無數工業和研究領域的許多制造工藝都很重要。光學測量方法提供低至幾納米的分辨率。這種景深需要使用高分辨率壓電陶瓷物鏡驅動器。

芯明天壓電陶瓷物鏡驅動器的負載能力達0.5kg,且兼容蔡司、徠卡、尼康、奧林巴斯等廠商的物鏡。

 

AFM顯微鏡

基于壓電陶瓷納米定位系統的原子力顯微鏡系統。

通過使用三維壓電陶瓷納米定位臺,可在百微米范圍內移動探頭,具有非常高的分辨率,且壓電陶瓷具有超快的響應時間,可快速地生成圖像。

 

地質學

井中的快速孔隙壓力測量。活塞在伸出位置和縮回位置之間振蕩,并產生資源(例如油)的流體運動。 這種流體運動通過地層的孔隙噴射并提供快速和的孔隙壓力測量。井底組件中使用的部件必須能夠承受嚴苛的條件,如高溫高壓等。

采用芯明天壓電陶瓷促動器,可承受的高溫可達200℃,在高壓下不會造成嚴重的性能損失。

 

生物顯微學

在傳統的顯微鏡中,分辨率的極限是光波長的一半。

在顯微鏡系統中集成芯明天壓電陶瓷物鏡驅動器,可得到超分辨率步進顯微鏡,滿足藍光200nm分辨率要求。

 

光譜學

光束線具有非常高的挑戰性要求。其中,和第二晶體的平行度必須大于90nrad的步長,在百微米行程范圍內的分辨率必須優于1nm。

由于晶體的高質量和高熱負荷,還需要*的剛度。

通過使用芯明天封裝壓電陶瓷促動器可在四次彈跳式水晶單色儀中保證高分辨率。并且芯明天可定制封裝壓電陶瓷促動器,可在真空4K的超低溫下使用。并可通過PID控制,形成閉環回路控制。

 

半導體

芯明天為半導體行業進行大型晶圓的切割及檢測。

通過使用芯明天壓電陶瓷物鏡驅動器,可調整激光聚焦加工的焦點,即切割加工點。分辨率可達2.5nm,聚焦范圍110μm,負載能力達0.5kg。

 

振動器/材料測試/振動激勵

封裝壓電陶瓷促動器具有大出力、高動態性的特點,空載諧振頻率可達40kHz,出力可達50000N。并且,封裝壓電陶瓷促動器體積小巧,易于集成,也非常適于材料測試、主動減振和振動激勵等應用。

 

空間應用

壓電陶瓷促動器的應用不限于地球表面。壓電陶瓷促動器用于許多衛星任務和空間站的實驗。 壓電陶瓷促動器可用于分析星球表面的結構和機械特性,或用于檢測的傳感器。也可用于在衛星上進行望遠鏡調節或主動減振或在空間站上進行實驗等。

芯明天具有十年的定制方案經驗,可為您定制航空、航天等適合您應用的解決方案!

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