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芯明天為您搭建光路穩(wěn)定系統(tǒng)，該系統(tǒng)可產(chǎn)生光路的擾動(dòng)信號(hào)，并可對(duì)擾動(dòng)信號(hào)進(jìn)行補(bǔ)償，將光路中的擾動(dòng)進(jìn)行抑制、衰減，從而使光路穩(wěn)定。

該光路穩(wěn)定系統(tǒng)由PSD光源激光器、用于擾動(dòng)模擬的壓電偏轉(zhuǎn)鏡及控制器、用于補(bǔ)償?shù)膲弘娖D(zhuǎn)鏡及控制器、光信號(hào)傳感器以及偏差比較電路組成。

光路穩(wěn)定系統(tǒng)

該系統(tǒng)組成部件

光源激光器×1臺(tái)

光功率及波長(zhǎng)在PSD光信號(hào)傳感器能接收范圍內(nèi)。

芯明天P33.T2K壓電偏轉(zhuǎn)鏡、E53.B3壓電控制器及支架×各兩套

該P(yáng)33.T2K壓電偏轉(zhuǎn)鏡產(chǎn)生的光束偏轉(zhuǎn)范圍達(dá)6mrad，工作頻率可達(dá)80Hz。

PSD光信號(hào)傳感器×1臺(tái)

X、Y軸測(cè)量行程：±2mm；響應(yīng)時(shí)間：<20 µs。對(duì)PSD光信號(hào)傳感器量程的選擇取決于入射到PSD光信號(hào)傳感器中入射光始發(fā)點(diǎn)到PSD光信號(hào)傳感器間的距離。

光路穩(wěn)定系統(tǒng)工作原理

該光路穩(wěn)定系統(tǒng)的基本原理為：光源激光器發(fā)出的光束經(jīng)過(guò)干擾用壓電偏轉(zhuǎn)鏡及補(bǔ)償用壓電偏轉(zhuǎn)鏡反射后，被PSD光信號(hào)位置傳感器接收，并反饋給補(bǔ)償用壓電偏轉(zhuǎn)鏡控制器，通過(guò)其內(nèi)部偏差比較電路的計(jì)算，輸出補(bǔ)償電壓，驅(qū)動(dòng)補(bǔ)償用壓電偏轉(zhuǎn)鏡進(jìn)行角度調(diào)整，將干擾信號(hào)進(jìn)行補(bǔ)償、衰減。

在操作使用前，需要將PSD光信號(hào)位置傳感器與補(bǔ)償壓電偏轉(zhuǎn)鏡控制器進(jìn)行標(biāo)定，芯明天E53.B3壓電控制器具有偏差比較電路。標(biāo)定好后，啟動(dòng)干擾用壓電偏轉(zhuǎn)鏡的控制器，驅(qū)動(dòng)干擾壓電偏轉(zhuǎn)鏡，產(chǎn)生模擬干擾信號(hào)（信號(hào)頻率、幅度、波形可調(diào)）。PSD光信號(hào)位置傳感器將接收到的光位置信號(hào)反饋到補(bǔ)償用壓電偏轉(zhuǎn)鏡控制器，通過(guò)其內(nèi)部偏差比較電路，輸出補(bǔ)償所需的電壓信號(hào)，驅(qū)動(dòng)補(bǔ)償壓電偏轉(zhuǎn)鏡進(jìn)行與干擾信號(hào)相同但相反的角度調(diào)整。

測(cè)試實(shí)驗(yàn)結(jié)果

在X向或Y向150微米、10Hz干擾信號(hào)下，經(jīng)過(guò)閉環(huán)補(bǔ)償后，干擾信號(hào)減小至5微米。