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芯明天超高精度P21壓電旋轉臺

更新時間: 2018-11-19

芯明天新推出P21系列壓電旋轉臺為一維θz旋轉臺,產品體積小巧,大旋轉角度8.5mrad,承載能力達2kg,可帶動鏡片做精密旋轉運動。

 

特性

·θz旋轉

·大旋轉角度8.5mrad

·閉環定位精度高

·體積小巧

 

典型應用

·光路調整

·光束掃描

·干涉/計量

 

小體積、高分辨率、高精度

P21θz一維旋轉臺采用機構放大設計原理,可以實現大8.5mrad的旋轉,體積小巧、結構緊湊,尺寸僅為60×60×15mm,非常易于集成到精密旋轉設備中。

采用壓電陶瓷作為驅動元件,臺體采用柔性鉸鏈機構,無摩擦、無回差,可以實現0.2μrad的分辨率。內置SGS傳感器配套閉環控制器可以實現微弧度的定位精度,在光路精密角度調整中起著非常重要的作用。

技術參數

P21.R7S

運動自由度:θz

標稱旋轉角度(0~120V):6mrad(~1200秒)   

大旋轉角度(-20~150V) :8.5mrad(~1700秒)

傳感器類型:SGS

閉環分辨率:0.4μrad(~0.08秒)

閉環線性度:0.5%F.S.

閉環重復定位精度:0.2%F.S.

推/拉力:10/5N

運動方向剛度:1N/μm

空載諧振頻率:1.1kHz

大承載:2kg

靜電容量:1.8μF

材質:鋁

重量:105g

 

應用實例

P21系列壓電旋轉臺可以與芯明天任意平臺或傾斜臺配合使用,組成多軸精密壓電定位臺,用于多維精密直線與旋轉定位操作。

 

 

推薦控制器

P21為θz一維壓電旋轉臺,單通道壓電控制器即可驅動控制,閉環版本P21推薦配套E01系列閉環控制器,實現θz高精度旋轉定位控制。

 

E01.D1壓電控制器

 

·E01.D1

·0~120V/150V輸出

·平均功率7W/35W

·上位機通信、模擬、旋鈕控制

 

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